Controladores de Caudal
Los controladores de caudal se utiliza para medir y controlar con precisión el flujo másico de un gas. Desempeñan un papel importante en la investigación científica.
Las aplicaciones típicas incluyen: equipos de procesos electrónicos como difusión, epitaxia, CVD, oxidación, grabado por plasma, sputtering e implantación de iones; y equipos de recubrimiento, fundición de fibra óptica, dispositivos de microrreacción, sistemas de distribución de gases mixtos, medición capilar, cromatógrafos de gases y otros instrumentos analíticos.
- Rango de Caudal: （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500…）SCCM（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500…） SLM - Precisión: ±1%F.S ±0.5%F.S - Linearidad: ±0.5~1.5%F.S - Reproducibilidad: ±0.2%F.S - Tiempo de respuesta: 1~4 seconds - Rango de diferencia de presión: 0.1~0.5MPa - Presión máxima: 3MPa - Temperatura de trabajo: 0~70℃ - Protocolo de comunicación: RS485 MODBUS - Valores analógicos: DC 0~5V ，4~20mA - Potencia de suministro: DC +15V/24V，flow meter＜400mA，flow controller＜600mA - Conector de comunicación: DB15 - Ratio de fuga: 1×10-8SCCSHe - Material de la carcasa: 316L Stainless steel - Material de juntas: FKM，nitrile butadiene rubber，chloroprene rubber - Conectores: Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞